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超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000

超高分辨率场发射扫描电子显微镜 SU9000

  • 所属分类:场发射扫描电子显微镜 (FE-SEM)
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2021-08-18 11:06:16
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专门为电子束敏感样品和需Z大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。
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专门为电子束敏感样品和需极大300万倍稳定观察的先进半导体器件,高分辨成像所设计。

image.png 新的电子枪和电子光学设计提高了低加速电压性能。

0.4 nm / 30 kV (SE)

1.2 nm / 1 kV (SE)

0.34 nm / 30 kV (STEM)

image.png 用改良的高真空性能和无与伦比的电子束稳定性来实现高效率截面观察。

image.png 采用全新设计的Super E x B能量过滤技术,高效,灵活地收集SE / BSE/ STEM信号。


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