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全自动型原子力显微镜 AFM5500M

全自动型原子力显微镜 AFM5500M

  • 所属分类:单元
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2021-08-18 11:20:09
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AFM5500M是操作性和测量精度大幅提高,配备4英寸自动马达台的全自动型原子力显微镜。设备在悬臂更换,激光对中,测试参数设置等环节上提供全自动操作平台。新开发的高精度扫描器和低噪音3轴感应器使测量精度大幅提高。并且,通过SEM-AFM共享坐标样品台可轻松实现同一视野的相互观察・分析。
  • 特点
  • 规格
  • 选项
  • 功能
  • 观察示例

 1. 自动化功能

高度集成自动化功能追求高效率检测

降低检测中的人为操作误差

4英寸自动马达台     自动更换悬臂功能

                        4英寸自动马达台                                                自动更换悬臂功能


◆ 2. 可靠性

排除机械原因造成的误差

image.png 大范围水平扫描

采用管型扫描器的原子力显微镜,针对扫描器圆弧运动所产生的曲面,通常通过软件校正方式获得平面数据。但是,用软件校正方式不能完全消除扫描器圆弧运动的影响,图片上经常发生扭曲效果。

AFM5500M搭载了新研发的水平扫描器,可实现不受圆弧运动影响的准确测试。

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate

                          Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate


image.png 高精角度测量

普通的原子力显微镜所采用的扫描器,在竖直伸缩的时候,会发生弯曲(crosstalk)。这是图像在水平方向产生形貌误差的直接原因。

AFM5500M中搭载的全新扫描器,在竖直方向上不会发生弯曲(crosstalk) ,可以得到水平方向没有扭曲影响的正确图像。

Textured-structure solar battery

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)

* 使用AFM5100N(开环控制)时


◆ 3. 融合性

亲密融合其他检测分析方式

通过SEM-AFM的共享坐标样品台,可实现在同一视野快速的观察・分析样品的表面形貌,结构,成分,物理特性等。

Correlative AFM and SEM Imaging

SEM-AFM在同一视野观察实例(样品:石墨烯/SiO2)

The ovrlay images createed

          The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.


上图是AFM5500M拍摄的形状像(AFM像)和电位像(KFM像)分别和SEM图像叠加的应用数据。

image.png 通过分析AFM图像可以判断,SEM对比度表征石墨烯层的厚薄。

image.png 石墨烯层数不同导致表面电位(功函数)的反差。

image.png SEM图像对比度不同,可以通过SPM的高精度3D形貌测量和物理特性分析找到其原因。

今后计划与其他显微镜以及分析仪器的联用。

 AFM5500M 主机

image.png

* 参数与设备配置及放置环境相关。


AFM5500M 专用原子力显微镜工作站

image.png

* WINDOWS 是、美国 Microsoft Corporation 在美国及美国以外国家注册商标。

* RealTune是日立高新科学公司在日本、美国以及欧洲的注册商标。


选配项:SEM-AFM联用系统

image.png

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