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商洛微型采样系统

商洛微型采样系统

  • 所属分类:商洛聚焦离子束系统
  • 浏览次数:574次
  • 发布日期:2021-08-18 11:18:45
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微型采样方法(已在日本和美国取得zhuanli)已在半导体器件分析领域成为一款工具,它正迅速向更小制样方向发展。仅用一小时左右即可获得一个微小样品,以便于STEM分析,其定位精度可达到0.1 µm以下。
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 聚焦离子束(FIB)微采样装置和聚焦离子束(FIB)微采样方法

日立扫描电子显微镜



◆ 聚焦离子束(FIB)微柱状制样实例

一个微柱状样品,包含一个直接从半导体器件上准确地切割下来的分析点。改变入射聚焦离子束(FIB)的方向,把微样品切割或加工成任意形状。

日立扫描电子显微镜

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