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高性能聚焦离子束系统 MI4050

高性能聚焦离子束系统 MI4050

  • 所属分类:聚焦离子束系统
  • 浏览次数:
  • 发布日期:2021-08-18 11:18:29
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MI4050是具有以下特征的高性能聚焦离子束系统:新型电子光学系统,可达到世界Z高水准的SIM像分辨率・大束流使加工速度得以提升・提高了低加速电压的分辨率,使得高品质TEM样品制备成为可能 可用于截面加工观察,高品质TEM样品制备,电路修复,Vector Scan加工,微纳米级微细图形及磨具加工,利用沉积功能制作3维构造等众多样品加工应用。
  • 特点
  • 规格
  • 选项
  • 功能
  • 观察示例

◆ 大探针电流90nA,实现快速加工和大面积加工

日立扫描电子显微镜

焊线的截面加工

(加工尺寸 宽:95µm 深:55µm, 加工时间 20min)


◆ 通过提高极低加速电压(0.5kV~)加工及低加速电压二次电子图像分辨率,实现制备损伤率更低的TEM样品

*1kV以下为选配


◆ 可观察高分辨率SIM成像(二次电子成像分辨率高达4nm@30kV)

日立扫描电子显微镜     日立扫描电子显微镜

        正常部位                弯折部位

                铝罐的截面SIM图像


◆ 采用高精度5轴电动机械优中心马达台

可在样品台移动(包括倾斜)时自动对多个部位进行多种加工。


◆ 优越的操作性能和多种多样的加工模式

image.png截面制备程序加工

image.pngTEM/STEM样品程序加工

image.png自动连续加工

image.pngTEM样品自动连续精加工软件

image.png位图加工

image.pngVector Scan加工

image.png制备纳米精度三维结构样品 其他

日立扫描电子显微镜

悬空纳米导线制作

样品来源:兵库县立大学 松井真二 先生


◆ SIM像三维重构分析

等间隔截面加工与截面观察的往复进行,可取的多张截面连续SIM像,并进行3维重构。由此可判断样品中颗粒,孔洞等3维分布状态。

日立扫描电子显微镜     日立扫描电子显微镜

                                                                    半导体封装材料中的填料分布分析示例


◆ 使用多路气体系统(MGS-II)修复电路

该系统可对应保护膜材料、配线材料、绝缘膜、加速蚀刻等多种用途,照射多种气体。

image.png 钨沉积气体

image.png 铂沉积气体

image.png 绝缘膜制备用沉积气体

image.png 氟化氙蚀刻气体

image.png 有机类蚀刻气体

image.png 碳沉积气体

日立扫描电子显微镜

使用XeF2气体实现的大深径比孔加工

以及采用钨沉积引线


◆ 丰富多样的坐标链接功能

日立高新技术公司独创的坐标链接功能丰富多样,可确定正确的加工位置和大幅缩短时间。

image.png 光镜图像与SIM像的链接

image.png 双光标功能

image.png 日本专利第4634134号 美国专利第7595488号

image.png 与缺陷检测设备建立坐标链接

image.png 已截断的晶元或芯片也可与缺陷检测设备建立坐标链接。

image.png CAD联用导航软件


日立扫描电子显微镜

image.png 4通道供气系统

image.png 自动连续加工软件

image.png TEM样品自动加工软件

image.png 控制器显微镜 其他

*:可选择其他MI系列的各种选配件。


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